无尘洁净室工程为何要控制好温湿度
日期：2020-01-06 14:36:14返回
无尘车间为什么要控制温度和湿度?主要的作用是什么，有什么措施？青岛科尔净化工程有限公司专注净化工程装修，为您解答一下！
无尘车间的温湿度主要根据您的加工工艺要求来确定。在加工工艺条件下，首先要考虑人的舒适性。随着空气清洁度要求的提高，对工艺的温湿度要求越来越高，必须达到一定的温湿度水平。例如，在大规模集成电路生产的光刻曝光过程中，用作掩模材料的玻璃与硅片的热膨胀系数差越来越小。对于直径为100 um的硅晶圆，温度升高1度，线性膨胀为0.24 um。因此，它必须有一个恒定的温度±0.1度。同时要求湿度值一般较低。半导体车间怕钠，这样的车间不应超过25度。湿度过大会造成更多问题。当相对湿度超过55%时，冷却水管壁会凝结。如果发生在精密设备或电路中，会引起各种各样的事故。在50%的相对湿度下容易生锈。
然而，对于大多数洁净空间，为了防止外部污染的侵入，需要保持内部压力(静压)高于外部压力(静压)。压差的维持一般应遵循以下原则:
1.高清洁度空间的压力要高于邻近低清洁度空间的压力。
2.洁净室之间的门应向高度洁净的房间敞开。
3.清洁空间的压强比非清洁空间的压强大。
压差的维持取决于新风量，新风量应能补偿在此压差下从间隙漏出的空气。因此，压力差的物理意义是当泄漏(或渗透)的空气量通过洁净室的各种间隙时的阻力。
对于乱流风淋室，由于空气的稀释主要用来降低室内污染程度，所以空气交换频率的概念主要用来代替速度的概念，但对于室内空气流速也需要满足以下要求
1.出口气流速度不宜过大。与简单的空调房间相比，需要更快的速度衰减和更大的扩散角。
2.水平面上吹过的气流速度(如侧进时的回流速度)不宜过大，以免吹起的表面颗粒回流到气流中，造成二次污染。这个速度一般不适合0.2m/s的干度。
在我国，《空气清洁技术措施》和《清洁厂房设计规范》都是这样规定的
垂直平行流(层流)洁净室≥0.25m/s
水平平行流(层流)洁净室≥0.35 m/s
无尘车间的温湿度主要根据您的加工工艺要求来确定。在加工工艺条件下，首先要考虑人的舒适性。随着空气清洁度要求的提高，对工艺的温湿度要求越来越高，必须达到一定的温湿度水平。例如，在大规模集成电路生产的光刻曝光过程中，用作掩模材料的玻璃与硅片的热膨胀系数差越来越小。对于直径为100 um的硅晶圆，温度升高1度，线性膨胀为0.24 um。因此，它必须有一个恒定的温度±0.1度。同时要求湿度值一般较低。半导体车间怕钠，这样的车间不应超过25度。湿度过大会造成更多问题。当相对湿度超过55%时，冷却水管壁会凝结。如果发生在精密设备或电路中，会引起各种各样的事故。在50%的相对湿度下容易生锈。
1.高清洁度空间的压力要高于邻近低清洁度空间的压力。
2.洁净室之间的门应向高度洁净的房间敞开。
3.清洁空间的压强比非清洁空间的压强大。
压差的维持取决于新风量，新风量应能补偿在此压差下从间隙漏出的空气。因此，压力差的物理意义是当泄漏(或渗透)的空气量通过洁净室的各种间隙时的阻力。
1.出口气流速度不宜过大。与简单的空调房间相比，需要更快的速度衰减和更大的扩散角。
2.水平面上吹过的气流速度(如侧进时的回流速度)不宜过大，以免吹起的表面颗粒回流到气流中，造成二次污染。这个速度一般不适合0.2m/s的干度。
在我国，《空气清洁技术措施》和《清洁厂房设计规范》都是这样规定的
垂直平行流(层流)洁净室≥0.25m/s
水平平行流(层流)洁净室≥0.35 m/s
